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佛伦气体——氩气
至少含有氧、氢、一i氧化碳和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法,其特征在于,判断上述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢及一i氧化碳的全部进行反应所需的氧的设定量,在上述氩气中的氧量在所述设定量以下时,添加氧以使该氧量超过所述设定量,然后使用第i催化剂使上述氩气中的一i氧化碳及氢与氧进行反应,以残留氧的状态生成---和水,然后添加一氧i化碳以使上述氩气中的一i氧化碳量超过与残留的全部氧进行反应所需的一i氧化碳的设定量,然后通过使用第2催化剂使上述氩气中的氧与一氧i化碳进行反应,氩气送货中,以残留一i氧化碳的状态生成---,然后使上述氩气中至少一i氧化碳、---、水和氮通过变压吸附法(日文圧力7 7吸着法)被吸附剂吸附, 上述第i催化剂和第2催化剂中的至少一方为钌催化剂,使用上述钌催化剂时的反应温度在200°c以下。氩气
佛伦气体——氩气
虽然氩气中的氮浓度也可仅通过由变压吸附法进行的吸附来降低,氩气含税价,但通过并用由变温吸附法进行的吸附可减轻用于实施变压吸附法的psa单元的负荷,能够与提纯前的氩气中杂质浓度的变化相对应地切实除去杂质。由此,可进一步提高提纯后的氩气纯度。而且,能够在由变温吸附法进行的吸附处理的前处理阶段从氩气中除去氧,因此可减少由变温吸附法进行的吸附处理时的冷却能量。再者,无需使一氧i化碳从变温吸附法中使用的吸附剂脱附,能够降低吸附剂的再生所需的能量。 氩气
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